LAM RESEARCH 853-494678-010

LAM RESEARCH CABLE 853-494678-010 REC C F/S 技术参数及中文介绍

一、产品概述

LAM RESEARCH（泛林集团）的 CABLE 853-494678-010 REC C F/S 是一款专为半导体设备设计的定制化电缆组件，主要用于连接设备内部模块（如射频电源、气体分配系统、真空腔体等）。该电缆具备高可靠性、耐化学腐蚀和电磁兼容性，适用于半导体制造中的刻蚀、沉积等工艺环境。

二、技术参数

以下为该电缆的核心技术参数（具体参数可能因版本或定制需求略有差异）：

三、功能与特点

1. 高可靠性设计
   • 电缆内部线材采用高纯度材料，降低信号衰减和功率损耗。
   • 屏蔽层设计有效抑制电磁干扰（EMI），确保信号传输稳定性。
2. 耐化学腐蚀
   • 护套材料选用聚酰亚胺或特氟龙，可抵抗半导体工艺中的腐蚀性气体（如 Cl₂、CF₄）和化学液体。
3. 耐高温性能
   • 绝缘和护套材料可在高温环境下长期使用，适应等离子体刻蚀等工艺的高温需求。
4. 模块化与定制化
   • 电缆组件可根据设备需求集成多种线材（电源、信号、同轴、流体管路），减少安装空间。
   • 连接器类型和长度可定制，确保与设备接口完美匹配。
5. 安全与合规
   • 符合 SEMI 标准，满足半导体行业对设备安全性和环保性的严格要求。

四、应用场景

1. 半导体刻蚀设备
   • 连接射频电源与刻蚀腔体，传输高频信号和冷却水。
2. 化学气相沉积（CVD）设备
   • 传输工艺气体和电气信号，确保沉积过程的稳定性。
3. 离子注入机
   • 连接高压电源与离子源，传输高电流和精确控制信号。
4. 真空设备
   • 用于真空腔体内部的信号和电源传输，适应高真空环境。

五、注意事项

1. 安装与维护
   • 需由 LAM RESEARCH 认证工程师或专业技术人员操作，避免因安装不当导致泄漏或信号干扰。
   • 安装时需避免电缆过度弯曲或扭结，防止内部线材断裂。
2. 使用环境
   • 避免电缆接触尖锐物体或高温表面（超过护套耐受温度）。
   • 在腐蚀性气体环境中，需定期检查护套完整性。
3. 存储与运输
   • 电缆应卷绕在直径不小于 10 倍外径的卷轴上，避免长期折叠。
   • 运输时需防潮、防尘，避免剧烈震动。
4. 报废与回收
   • 电缆中的金属和特殊材料需按环保要求回收，避免污染。

六、总结

LAM RESEARCH 的 CABLE 853-494678-010 REC C F/S 是一款专为半导体设备设计的高性能电缆组件，具备耐高温、耐腐蚀、抗干扰等特点，适用于严苛的工业环境。其模块化设计和定制化能力可满足不同设备的连接需求，是半导体制造中不可或缺的关键部件。

如需更详细的技术文档或应用指导，建议直接联系 LAM RESEARCH 官方技术支持或查阅设备手册。