ZYGO ZMI-4104 干涉仪
📌 ZYGO ZMI-4104 干涉仪中文介绍
ZYGO ZMI-4104 是一款高精度激光干涉测量系统，专为精密光学元件、半导体制造及科研领域设计。其基于迈克尔逊干涉原理，通过检测光程差实现纳米级位移、角度及表面形貌测量，适用于超光滑表面检测、光刻机定位、纳米级位移校准等场景。系统支持多轴同步测量，兼容动态与静态模式，具备高重复性和抗环境干扰能力。
📊 ZMI-4104 产品参数表
| 参数项 | 描述 |
|---|---|
| 型号 | ZMI-4104 |
| 波长 | 632.8nm（He-Ne 激光） |
| 测量范围 | 位移：±10mm；角度：±0.5°；平面度：±5μm（可扩展） |
| 分辨率 | 位移：0.3nm；角度：0.01arcsec；平面度：0.1nm RMS |
| 重复性 | ±0.1nm（位移）；±0.005arcsec（角度） |
| 接口 | USB 3.0、RS-232、模拟输出（±10V） |
| 环境适应性 | 温度：20℃±1℃（测量时）；湿度：<65%RH（非冷凝） |
| 尺寸（W×H×D） | 450mm × 200mm × 500mm（含控制器） |
| 重量 | 约 15kg |
| 电源 | 100-240VAC，50/60Hz，最大功耗 300W |
🔧 核心功能与优势
- 多参数同步测量
支持位移、直线度、角度、平面度等参数一键采集，减少多次装夹误差。 - 动态补偿技术
内置环境传感器（温度、气压），实时修正空气折射率对测量结果的影响。 - 模块化设计
可扩展至 4 轴测量系统，适配不同尺寸工件（最大检测面积 500mm×500mm）。 - 数据分析软件
提供 MetroPro® 软件，支持 3D 表面重建、频谱分析及自定义报告生成。
📌 ZYGO MMC-BDPV81INA(8B17CC0056A) 控制器中文介绍
MMC-BDPV81INA 是 ZYGO 配套的高性能干涉仪控制器，专为 ZMI-4104 等型号设计。其采用高速数字信号处理（DSP）技术，实现光强自动调节、相位解调及噪声抑制，确保在振动或气流干扰下仍能稳定输出测量数据。
📊 MMC-BDPV81INA 参数表
| 参数项 | 描述 |
|---|---|
| 型号 | MMC-BDPV81INA(8B17CC056A) |
| 输入通道 | 4 路光电探测器接口（兼容 ZMI-4104） |
| 信号处理 | 16 位 ADC，采样率 10MHz |
| 控制模式 | 自动光强平衡、相位锁定、动态滤波 |
| 通信接口 | Gigabit Ethernet、USB 2.0 |
| 尺寸（W×H×D） | 300mm × 120mm × 400mm |
| 重量 | 约 8kg |
🚀 相似型号推荐
若需更高精度或不同波长，可参考以下型号：
📌 应用场景示例
- 光学元件检测：测量镜片面形误差（PV 值 <λ/50）。
- 半导体制造：光刻机工件台定位校准（重复性 <1nm）。
- 科研领域：纳米级振动台位移反馈控制。
⚠️ 使用注意事项
- 测量前需预热 30 分钟以达到最佳稳定性。
- 避免强光直射探测器窗口，防止饱和损坏。
- 定期校准系统参考镜（建议每 6 个月一次）。
如需技术手册或选型咨询，可访问 启明工业自动化官网 获取支持。
