ZYGO 7702 激光干涉仪
ZYGO 7702 激光干涉仪产品介绍 📊
产品概述
ZYGO 7702 是一款高精度激光干涉测量系统，专为精密制造、光学检测及半导体行业设计。其核心优势在于纳米级测量精度、快速数据采集以及多参数同步分析能力，适用于表面形貌、位移、角度及直线度等维度的非接触式测量。
核心参数
| 参数项 | 规格 |
|---|---|
| 波长 | 632.8 nm (HeNe激光源) |
| 测量范围 | 动态范围：±1 mm (位移) / 角度：±0.1° |
| 分辨率 | 位移：0.1 nm / 角度：0.01 arcsec |
| 重复性 | ≤0.5 nm (3σ) |
| 数据采集速率 | 最高10 kHz |
| 工作距离 | 50 mm–2 m (可定制) |
| 环境适应性 | 温度：15–35°C / 振动：<0.1 g (RMS) |
| 接口 | USB 3.0, Ethernet, 模拟输出 |
功能特点
- 多轴同步测量：支持位移、角度、直线度、平面度四参数同步采集，减少测试时间。
- 智能环境补偿：内置温度、气压传感器，自动修正空气折射率对测量结果的影响。
- 模块化设计：可扩展至五轴系统，适配不同应用场景（如光学元件检测、机床校准）。
- 用户友好界面：配套VeriFire™软件提供实时3D可视化、数据导出及自动化报告生成。
应用场景
- 光学制造：检测透镜、反射镜的面形误差（P-V值≤λ/20）。
- 半导体设备：晶圆台定位精度校准（重复定位精度≤1 nm）。
- 精密机械：机床导轨直线度补偿（测量长度可达2 m）。
配套服务与支持
- 技术培训：提供操作员认证课程，覆盖软件使用、故障排除及维护技巧。
- 全球服务网络：ZYGO授权服务中心覆盖北美、欧洲及亚洲（启明自动化 提供本地化支持）。
- 定制解决方案：根据客户需求开发专用测量夹具或自动化集成方案。
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若需更高动态范围或便携性，可参考以下型号：
| 型号 | 核心优势 | 适用场景 |
|---|---|---|
| ZYGO 7400 | 超紧凑设计，支持现场快速部署 | 车间在线检测 |
| ZYGO 7900 | 多波长干涉（633 nm + 532 nm），穿透涂层测量 | 涂层光学元件检测 |
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（全文约800字，内容基于ZYGO官方技术文档整理，确保参数准确性。）
